实验仪器设备

用于虚拟仿真的实物实验装置原型

图5 PPMS DynaCool 图6 微纳测试系统

图7电子束曝光系统Raith 150 图8反应离子刻蚀系统 图9电子束蒸发镀膜系统

计算机及仿真软件

（1）微型计算机：Intel酷睿I5，双核CPU，8G内存，250G硬盘，独立显卡512M显存，17英寸液晶显示器，安装Windows 7及以上的系统。

（2）微纳器件加工及量子效应测量仿真系统：包含三个模块，即低温强场模块、电子束光刻（EBL）模块、微纳器件测试模块，该仿真软件由中南大学自主研究开发，为网络版，可使用火狐浏览器（Firefox55.0以上版本）、谷歌浏览器（Chrome60.0以上）或360浏览器（极速模式）、或IE10等浏览器运行。具有自主知识产权。